Силицијумске плочице су врста полупроводничког материјала, који се широко користи у електроници, рачунарима, комуникацијама, аутомобилима, ваздухопловству и другим областима. Силицијумске плочице су класификоване на полупроводничке силицијумске плочице и фотонапонске силицијумске плочице према чистоћи силицијумских плочица; класификоване су на полиране плочице, жарене плочице, епитаксијалне плочице и СОИ плочице према процесу; по величини се деле на 12 инча\300мм, 8 инча\200мм и 6 инча\150мм, међу којима силиконске плочице од 200мм и 300мм имају шири спектар примене.
Класификација силицијумских плочица |
||
| Критеријуми класификације | Категорије производа | увести |
| Класификација према чистоћи силицијумске плочице | Полупроводничке силиконске плочице Фотонапонске силиконске плочице |
1. Полупроводничке силиконске плочице су важни материјали за израду интегрисаних кола. Фотолитографијом, јонском имплантацијом и другим методама могу се направити интегрисана кола и различити полупроводнички уређаји. 2. Фотонапонске силиконске плочице су силиконске плочице које се користе у фотонапонском пољу. У фотонапонском пољу, силицијумске плочице се углавном користе за завршетак конверзије сунчеве енергије у електричну енергију. |
| Класификација по процесу | „Углачана обланда Анеалед вафер Епитаксијална плочица СОИ вафер" |
1. Облатне за полирање су најчешће коришћени, најкоришћенији и најосновнији производи. Остали производи од силицијумских плочица се производе кроз секундарну обраду на бази полирања плочица. 2. Области за жарење се добијају жарењем полирних плочица у високотемпературном окружењу испуњеном аргоном или кисеоником. Ово може у великој мери смањити садржај кисеоника на површини полирне плочице, чиме се постиже бољи интегритет кристала и задовољавају већи захтеви за јеткање полупроводника. 3. Епитаксијалне плочице користе технологију раста у парној фази на површини плочице за полирање како би епитаксијално израсле један слој структуре производа на површини плочице за полирање, тако да ће њена површина бити глаткија од полирне плочице одсечене од сечења, чиме се смањује површина дефекти. 4. СОИ плочице су сендвич структуре, то јест, доњи слој је плочица за полирање, средњи је закопани оксидни слој, а горњи слој је активни слој полирне плочице, који може постићи високу електричну изолацију, чиме се смањује паразитски капацитет и цурење. |
| Класификација по величини | 1 2 инча \ 3 0 0 мм 8 инча \ 2 0 0 мм 6 инча \ 1 5 0 мм |
1. Углавном се користи у врхунским производима, као што су ЦПУ, ГПУ и други логички чипови и меморијски чипови, што је главна величина на тренутном тржишту, са тржишним уделом од око 65 ~ 70%. 2. Углавном се користи у лов-енд и мид-енд производима, као што су чипови за управљање напајањем, МЦУ, енергетски полупроводници, итд., Са тржишним уделом од око 25 ~ 27%. 3. Углавном се користи у производима ниске и средње класе, као што су енергетски полупроводници, са тржишним уделом од скоро 6 ~ 7% |
Силицијумске плочице су класификоване на полупроводничке силицијумске плочице и фотонапонске силицијумске плочице према њиховој чистоћи. У фотонапонском пољу се користе и монокристални силицијум и поликристални силицијум, са захтевом чистоће од око 99,9999% (4-6Н). Углавном се користе за прављење соларних ћелија и нашироко се користе у фотонапонским електранама, дистрибуираној фотонапонској производњи енергије на крововима и другим пољима. У пољу полупроводника користи се само монокристални силицијум. Како његов процес наставља да се смањује, његова чистоћа је потребна да достигне 99,999999999% (11Н) или више. Углавном се користи за производњу чипова и широко се користи у комуникацијама, потрошачкој електроници, аутомобилима, индустрији и другим областима. У класификацијском индексу чистоће силицијумске плочице, она је класификована према различитим нивоима чистоће, а ппм (тј. делова на милион) се обично користи за мерење њене чистоће. Силицијумске плочице се користе за кристални силицијум, полупроводнички силицијум, електронски силицијум, индустријски силицијум, силицијум за производњу, општи силицијум, итд. према различитим чистоћима.
Поређење између полупроводничких силицијумских плочица и фотонапонских силицијумских плочица |
|||||
| Апликације | Стандарди чистоће | Врсте силицијумских сировина | Стандарди површине | Облици и величине | Апликације |
| Полупроводници | 99.999999999%(11N) | Монокристални силицијум | Равност и глаткоћа се контролишу унутар 1 нм | Округла, пречника 150, 200, 300 мм | Углавном се користи за производњу чипова, широко се користи у комуникацијама, потрошачкој електроници, аутомобилима, индустрији итд. |
| Фотонапонски | 99.9999%左右(4-6N) | Постоје и монокристални силицијум и поликристални силицијум, од којих поликристални силицијум чини око 60%. | Стандарди су нижи од оних у области полупроводника | Квадратне, бочне дужине могу бити 125 мм, 150 мм и 156 мм | Углавном се користи за производњу соларних ћелија, широко се користи у фотонапонским електранама, дистрибуираној фотонапонској производњи енергије на крову и другим пољима |
Индекс класификације чистоће силицијумске плочице |
||
| Ниво чистоће силицијумске плочице | Чистоћа силицијумске плочице | Нечистоће силицијумске плочице |
| 6Н ниво | Чистоћа је 99,9999% | То јест, нечистоће не прелазе 10ппм |
| 7Н ниво | Чистоћа је 99,99999% | То јест, нечистоће не прелазе 1ппм |
| 8Н ниво | Чистоћа је 99,999999% | То јест, нечистоће не прелазе 0.1ппм |
| 9Н ниво | Чистоћа је 99,9999999% или више | То јест, нечистоће не прелазе 0.01ппм |
Индекс чистоће силицијумске плочице према примени |
|
| Класификација према чистоћи примене | Специфични индикатори |
| Кристални силицијум | Кристални силицијум се синтетише од дијаманта и силицијум песка, а чистоћа производа достиже 99,999%. |
| Полупроводнички силицијум | Полупроводнички силицијум се добија даљом обрадом кристалног силицијума. Чистоћа полупроводничког силицијума је висока као 99,9999%, што је надограђена верзија кристалног силицијума. |
| Електронски силицијум | Електронски силицијум се користи за производњу електронских уређаја. Његова чистоћа достиже 99,999999%. Електронски силицијум има 6 више 9 од кристалног силицијум, такође познат као силицијум шест-девет разреда. |
| Индустријски силицијум | Индустријски силицијум се користи за производњу индустријских делова. Његова чистоћа углавном достиже 99,99%-99.999%, што је нешто лошије од кристални силицијум. |
| Силицијум за производњу | Производни силицијум се користи за производњу производних делова. Његова чистоћа је генерално између 99,95%-99.99%, што је нешто лошије од кристални силицијум. |
| Општи силицијум | Општи силицијум је чешћи силицијум. Његова чистоћа је углавном између 99%-99.8%, што је најчешћа супстанца силицијума. |
