Која је равна ивица силиконске плочице?
Равна се такође може назвати ивицом за позиционирање.
Силиконске плочице од 2, 4 и 6- инча нису потпуно округле, већ имају одсечен угао који недостаје. Након што се силицијумски ингот извуче ЦЗ методом, пре него што се исече на силицијумске плочице, када се одреди оријентација кристала, једна или више равних ивица ће бити исечене на инготу дијамантском тестером. Због тога, силицијумска плочица има 1-2 ивице за позиционирање, дуга ивица за позиционирање је на дну плочице, а кратка ивица за позиционирање није фиксирана у положају, мењајући се са оријентацијом кристала и типом допинга.
Какав је однос између положаја ивице позиционирања и оријентације кристала?
Генерално постоје три типа кристалних оријентација за силицијумске плочице:<111> <110> <100>.
Када је угао између главне ивице за позиционирање и секундарне ивице за позиционирање 45 степени, тип силиконске плочице је н-тип<111>; када је угао између главне ивице за позиционирање и секундарне ивице за позиционирање 90 степени, тип силиконске плочице је п-тип<100>; када је угао између главне ивице за позиционирање и секундарне ивице за позиционирање 180 степени, тип силиконске плочице је н-тип<100>. Пошто је<110>кристална оријентација није главна оријентација кристала силицијумске плочице, не постоји стандард који би то представљао. Тхе<110>кристална оријентација може бити представљена према сопственим стандардима добављача силицијумске плочице.
Да ли су дужине примарне и секундарне ивице за позиционирање фиксне?
Да, пошто морају да одговарају опреми за производњу полупроводника, дужине и положаји примарне, примарне и секундарне ивице за позиционирање су фиксне.
Генерално, дужина примарне ивице за позиционирање 2-инчне силиконске плочице је 15,8 мм, дужина примарне ивице за позиционирање 4-инчне силиконске плочице је 32,5 мм, а дужина примарне позициона ивица 6-инчне силиконске плочице је 57,5 мм. Дужина равне ивице за секундарно позиционирање 4-инчне силиконске плочице је око 18 мм, а дужина равне ивице за секундарно позиционирање 6-инчне силиконске плочице је око 22 мм.