Метода припреме аморфне силицијумске соларне ћелије

Постоји много метода за аморфне силицијумске соларне ћелије, укључујући хемијско таложење испарења уз помоћ плазме, реактивно распршивање, сјајно пражњење, испаравање електронским снопом и термичко разлагање силана.
1. Метода реактивног распршивања: Прво, користите инфрацрвени ласер за ласерско исписивање ТЦО проводне стаклене подлоге; након ласерског писача, извршите ултразвучно чишћење; након чишћења подлоге, ставите је у посебан уређај за таложење и гурните у рерну ради претходног загревања; претходно загревање Фикс за пост таложење се гура у вакуумску комору за таложење ПЕЦВД, а аморфни силицијум се депонује коришћењем ПЕЦВД процеса депозиције; затим се зелени ласер користи за извођење другог ласерског сцрибинга на депонованом аморфном силицијумском супстрату, а чишћење се врши након сцрибинга; затим је очишћена подлога обложена композитним филмом металне задње електроде користећи ПВД ​​технологију, а слој цинк оксида као један од композитних филмова металне задње електроде се наноси на површину аморфног силицијумског слоја, а други слојеви задње електроде се одлажу на слоју цинк оксида; затим користите зелени ласер да извршите треће ласерско исписивање на подлози са нанесеном металном задњом електродом и очистите је након урезивања. До сада је формирана структура чипа батерије; након тога се чип батерије ламинира и пакује, а разводна кутија и проводне жице се постављају. На крају, извршите тестирање перформанси компоненти и спакујте квалификоване производе у кутије. У зависности од величине и спецификација произведених фотонапонских модула, производни циклус обично траје три до четири сата.
2. Метода хемијског таложења помоћу плазме: низ комора за таложење се користи за формирање континуираног програма у производњи како би се постигла масовна производња. Истовремено, аморфна силицијумска соларна ћелија је веома танка и може се направити у наслагани тип, или произведена методом интегрисаног кола. На авиону, са одговарајућим процесом маске, може се направити више ћелија у серији истовремено да би се добио већи напон.
3. Метода светлећег пражњења: кварцни контејнер се евакуише, напуни силаном разблаженим водоником или аргоном, загрева се извором радио фреквенције да би се јонизовао силан да би се формирала плазма, а аморфни силицијумски филм се депонује на загрејану супстрату супериорну.