Технологија обраде монокристалне силицијумске плочице

Храњење → Топљење → Раст врата → Раст рамена → Изометријски раст → Раст репа
(1) Храњење: Ставите полисилицијумску сировину и нечистоће у кварцни лончић. Врста нечистоћа зависи од типа Н или П отпора. Врсте нечистоћа су бор, фосфор, антимон и арсен.
(2) Топљење: Након додавања полисилицијумских сировина у кварцни лончић, пећ за раст кристала мора бити затворена и евакуисана, затим напуњена аргоном високе чистоће да би се одржао одређени опсег притиска, а затим укључити струју графитног грејача да загрејати до температуре топљења (1420 степени), полисилицијумска сировина се топи.
(3) Раст врата: када је температура растапања силицијума стабилна, полако уроните семенски кристал у талог силицијума. Услед термичког напрезања када је кристал за семе у контакту са пољем растапања силицијума, дислокације ће се генерисати у кристалу семена, а ове дислокације се морају елиминисати растом грлића. Раст грла је да се кристал за семе брзо подигне нагоре, тако да се пречник израслог кристала семена смањи на одређену величину (4-6мм). Пошто линија дислокације формира угао са осом раста, све док је врат довољно дугачак, дислокација може израсти из површине кристала, стварајући кристал са нула дислокација.
(4) Раст рамена: Након што се израсте танки врат, температура и брзина повлачења морају се спустити тако да се пречник кристала постепено повећава до потребне величине.
(5) Раст једнаког пречника: Након што су танки врат и рамена порасли, пречник ингота се може одржавати између плус или минус 2 мм континуираним подешавањем брзине и температуре вучења. Део са фиксним пречником назива се део изодијаметра. Монокристалне силиконске плочице се узимају из пресека једнаких пречника.
(6) Раст репа: Након што је део једнаког пречника узгојен, ако се ингот одмах одвоји од површине течности, топлотни стрес ће изазвати дислокације и линије клизања у инготу. Због тога, да би се избегао овај проблем, пречник ингота се мора постепено смањивати док не постане оштар врх и одвоји се од површине течности. Овај процес се назива раст репа. Израсли кристални ингот се подиже у горњу комору пећи да се охлади неко време, а затим се вади да се заврши циклус раста.